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1、理化性質：
外觀與性狀：無色無臭氣體
相對密度（水=1）：1.67(-100℃)
相對蒸氣密度（空氣=1）：5.11
分子式：SF6
溶解性：微溶于水、乙醇、乙醚。
化學性質穩定。微溶于水、醇及醚，可溶于氫氧化鉀。不與氫氧化鈉、液氨、鹽酸及水起化學的反應。300℃以下干燥環境中與銅、銀、鐵、鋁不反應。500℃以下對石英不起作用。250℃時與金屬鈉反應，-64℃時在液氨中反應。與硫化氫混合加熱則分解。200℃時，在特定的金屬如鋼及硅鋼存在下，能促使其緩慢分解。
2、技術指標
純度（體積分數）/10-2
≥99.99%
≥99.999%
氧氣+氬氣含量（體積分數）/10-6
≤5.0
≤2.0
氮氣含量（體積分數）/10-6
≤15
≤2.0
四氟化碳（體積分數）/10-6
≤1.0
≤0.5
一氧化碳（體積分數）/10-6
≤1.0
≤0.5
二氧化碳（體積分數）/10-6
≤1.0
≤0.5
甲烷含量（體積分數）/10-6
≤1.0
≤0.1
水份含量（體積分數）/10-6
≤5.0
≤2.0
